半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体设备高公测服务设施涉重废水处理工艺——MVR強制反复的零排大型项目
投资项目底色
半导芯片高级测封工作,面积150万m³/天,是首份半导芯片测封配备涉重废液零排工作。测封重要环节的镀镍、镀铜、引线整体布局完成后洗掉会呈现含镍含铜废液,园林符合要求"无尾水外排",产水全部都中水回用于产线。
地表水优点与常见问题
焦化废水以含镍主导(氧浓度10–100毫克/升),伴小量铜、锌,pH震荡大(2–12),和光刻胶残余的的小量有机肥料物。首测厂地方紧,的标准处理措施征占小;零排后果着浓水并不能建筑垃圾清运不多,要本市多效蒸发成果反馈控制。
外理工学院艺自驾线路
一体化走"分质整理 → 预进行处理除杂 → 化学式积淀除镍 → 油烟净化器 → UF+二级RO → MVR被迫重复化掉 → 冷凝剂水造纸废水处理":
含镍线先调pH到10–11,添加氢腐蚀的钠转成Ni(OH)₂发展,再加上塑炼钠厚度收集多余镍(塑炼镍Ksp比氢腐蚀的镍更小,如何把镍压到0.1毫克/升之下);
石雕文化沉淀出液经多有机溶剂滤出+安保滤出后进UF,再进三级RO,产水一直回产线除污;
RO浓水(含盐+残留高价属)进MVR被迫反复往复减压蒸馏器,被迫反复往复能扛高含盐积垢,减压蒸馏器附带线上的洗涤,不能堵;
MVR空气冷却水返回到回收利用池子,多效蒸发残液委外焚化或算作垃圾预防,这个生产车间无液体状态外排。
的关键设配优越性代表
MVR强制性无限反复相对常规降膜挥发,无限反复空气流速高、热传递面很不容易结镍盐/碳酸盐垢,适于公测这款"水流量不多但水污染杂"的场所;合二为一化撬装设计拆迁赔偿比一般挥发塘+多效挥发方式小60%之内;恶臭侧设施生态学滤池,把调节器池和淤泥间的恶臭征集后分解成CO₂和水,以免公测厂紧挨着办公楼区的异味重网络投诉。
整理功能与效果
出水出水镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,高于《真空电镀弄脏物进行污染物规格》表三;另一个150立方米/天产水循环于公测产线擦洗,使用等量新颖水;危废处理(汽化残液+活性污泥)量比民俗"沉淀自己+进行污染物"模试减约70%。对富士康侧,公测内容环境保护市场准入卡点打伤通;