某半导体器件制作公司因晶圆洁净程序存在含氨废水处里方法，水流量200吨/天。废水处里方法中除高锰酸盐指数外还具有刺激性氟化物和轻微巨资属，处里关卡大。立即排卸规范的标准高锰酸盐指数＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 污废水 部分及从何而来 晶圆刷洗废渣（核心源头）：含高锰酸盐指数200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀工步废污水：含微量分析铜、镍等高价属，pH值动荡大 CMP考虑废液：含硅颗粒状及氧化还原电位 清理鑫霖环保标准流程 通过"检查是否乳浊液+膜分离处理+折点氯化"组合成工艺设备： 预解决 ：污泥脱水CaCl2除氟，管控pH在7.5-8. 反渗透膜系统化 ：避开0.01μm之上粒子物 反融入浓缩咖啡 ：将高锰酸盐指数浓缩液至1000mg/L以内 折点氯化 ：精准控住氯加药量，将氧化还原电位转化成为离氮气 化合物互换 ：保驾护航高价属符合标准 既定功效 氧化还原电位不稳定性＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 巨资属成分最低的检测限 水造纸废水处理率达75% 污水生产量减低40%