某光电器件存储芯片生会产生产厂在晶圆激光加工流程中，运用硅烷实施硅本质生長，烟气洗涤剂塔会产生高酸度含硅生活污水。生活污水还具有pH下跌大（2-11）、硅含水量高的优点，傳統整理方式 易现身硅垢短路情况。 废渣化学物质及来历 生产废水常见的成分为： 消融性硅酸盐 ：SiO₂渗透压达1000-1500mg/L 磷酸/氢氧化反应钠 ：清洗塔酸碱平衡清洗液留 颗粒状硅 ：nm级SiO₂氢氧化铁 痕量砷 ：主要原料沉渣带进去 工作制作工艺环节 去创新运用"二级中合+膜滤出+化掉结晶体"流程： 四级结合 ：用CaO转换pH至4-5，转化硅酸钙放置，硅剔除率60%。 2级采和 ：加Na₂CO₃将pH提高自己至9，进一个步骤沉定已用硅，并接用镁剂除砷。 超滤膜系统 ：0.02μm陶瓷图片膜滤过nm级硅粉末，通量平稳在80LMH。 MVR蒸馏器 ：浸提高盐废水处理，成果出Na₂SO₄副商品，水回收率超90%。 决定结果 总硅从1500mg/L减至5mg/L有以下 砷含量从0.8mg/L低于0.01mg/L 体统无积垢运作不低于2年 常年环保再生资源回收盐酸钠结晶约800吨