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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8屏幕尺寸晶圆研发线设备配套的超超纯水模式,每顿饭导致含硅生活污水150吨。生活污池里虽无巨资属,但硅含水量高易水垢,且阻值率需达标18MΩ·cm能力中水回用。现有除工院艺無法具备新实行的《电子器材轻工业水空气大气污染物尾气水质标准单位》(GB39731-2020)独特尾气排放出卫生防护距离。 废水处理方法有效成分特色 最主要的弄脏物 :橡胶胶体部分硅(200-300mg/L)、小粒硅(粒度分布0.1-1μm) 特别的符合要求 :TOC<10μg/L,硼占比<5μg/L 环境质量的特点 :低导电率(<50μS/cm)但硅有机物型态简化 治疗技术具体流程 不断创新采取"梯级膜分割+电去阴阳离子"组合公式施工工艺: 微滤预办理 :1μm瓷砖膜屏蔽短信大小粒硅,通量能维持80LMH 正离子相互交换树酯 :D201大孔不饱和树脂决定性吸硅酸分子式 下级RO平台 :第一点段环保再生资源回成品率60%,第二点段采取高脱硼膜组件 EDI电去正离子 :电流大小规格2A/m²,坚持洗去多余正离子 UV紫外线杀菌的 :254nm直射线的用药量40mJ/cm² 技术水平创新举措 的开发专属阻硅剂(巧妙胺类符合物),延长时间膜影响的周期3倍 EDI输出模块科学创新流道设计制作,硅弄掉率升高至99.8% 再线硅探讨仪(测试空间0.1-500μg/L)建立正确调节 运营效益 经最后方检查: 总硅从280mg/L低于0.05mg/L 硼含磷量从8μg/L降下来0.3μg/L 设计收购 率从原40%提升自己至68% 膜修改定期不断增加至5年,年操作资金影响35%

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