某半导厂在生产销售过程中中运行氰化钠系成像液,会产生高溶液浓度含NOx污水,日办理量50吨。污水里含NO2-高达独角兽2000mg/L,且包含进样器生产光刻胶部分,办理麻烦很大的。
2. 污水成分表及来源于
成像多种工序电镀废水(大部分被水污染源)
晶圆除污污水
烟粉尘洗衣机清洗塔出水
3. 工作工艺设备的流程
进行"高阶腐蚀+二级生物制品进行处理"创新性工艺流程:
臭氧老化阳极氧化
:采用O3引发器引发O3,将难光降解有机肥料物分离为小氧分子化学物质,同样将NO2-钝化为NO3-。
生态学膜反应迟钝器(MBR)
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第二级:环世界区域环境下添加甲醇做碳源,有利于促进反硝化细菌体现
第一级:好氧动物膜进一次化学降解生物碳物
电检查是否广度处置
:采取钛基耐磨涂层金属电极,利用电解抛光能力切底分离的残留物生态破坏物。
4. 终于功效
NOx总氮降低8mg/L左右
COD保持稳定在30mg/L三岁
电镀废水工业废水处理率达60%
整体进行热耗的控制在3.5kWh/吨水,较传统型制作工艺工业节能20%。